Tómarúmhúðunarframleiðslulínan er mjög sérhæft framleiðslukerfi, sem er aðallega notað til að setja eitt eða fleiri lög af afar þunnum virkum kvikmyndum á yfirborði undirlags (svo sem gler, plast, málm, keramik, hálfleiðara skífu osfrv.).
Kjarni þess er að gufa upp eða jóna húðunarefnið með ýmsum líkamlegum aðferðum í mjög tómarúmsumhverfi og þétta það síðan í filmu á yfirborði undirlagsins.
Forrit:
Tómarúmhúð af kopar, silfri og öðru leiðandi efni á yfirborði rafknúna keramik og hringrásarborðs keramik.
Það er einnig hentugur fyrir tómarúm útfellingu ýmissa málmfilmulaga á yfirborði annarrar plata - eins og verkstykki (gler, akrýlborð osfrv.);
Helstu eiginleikar:
Segulsvið takmarka plasma
Þetta er kjarnaeinkenni segulsviðsins. Með því að beita sterku segulsviðinu á tilteknu lögun (venjulega hring eða kappakstursform) nálægt markflötunum eru rafeindirnar lokaðar nálægt markflötunum til að gera spíralhreyfingu, sem eykur mjög líkurnar á árekstri og jónun rafeinda með vinnandi gasi (venjulega argon) atóm.
Hátt jónunarhraði og hátt útfellingarhlutfall
Segulsviðssamsetning eykur verulega þéttleika í plasma og jónunarhraði, sem gerir sputteringferlið skilvirkara.
Þetta þýðir að við tiltölulega lágan gasþrýsting og lágan spúði spennu/afl er hægt að ná miklu hærri sputter og útfellingarhlutfalli en hefðbundin DC sputtering.
Lágt hitastigsferli
Þar sem mest af orkunni er notað til að jóna gas og sputter markatóm er tiltölulega lítill hiti fluttur yfir í undirlagið.
Góð gæði kvikmynda
Góður þéttleiki, sterkur viðloðun, mikill hreinleiki og góð einsleitni.
Fjölbreytt aðlögunarhæfni efnisins
Góð stjórnunarferli
The magnetron sputtering coating production line has become one of the mainstream technologies for preparing functional thin films (such as optical films, conductive films, wear-resistant hard films, decorative films, anti-corrosion films, magnetic films, semiconductor films, etc.) in modern industry due to its core features and advantages such as high deposition rate, Lágt hitastigsferli, framúrskarandi kvikmyndagæði (samningur, sterk viðloðun), aðlögunarhæfni víðtækra efnis, góð einsleitni og stjórnunarhæfni. Það hefur afar breitt forrit í ör rafeindatækni, flatskjám, sólarfrumum, tólhúðun, bifreiðarhlutum, umbúðum, skreytingum, sjóntækjum og öðrum reitum.
maq per Qat: Magnetron sputtering húðunarlína, Kína Magnetron Sputtering Coating Line Framleiðendur, birgjar, verksmiðja
