1. tómarúmhólf
Tómarúmhólfið er kjarninn í tómarúmhúðunarvélinni. Meginhlutverk þess er að skapa tómarúm umhverfi og halda húðunarferlinu í tómarúmsástandi. Tómarúmhólfið er venjulega úr ryðfríu stáli eða álfelgum, með mikilli lofttæmisþéttingu og tæringarþol.
2. dælukerfi
Dælukerfið er einn af lykilþáttum tómarúmhúðunarvélarinnar. Það er aðallega ábyrgt fyrir því að draga gasið í tómarúmhólfið til að gera tómarúmgráðu til nauðsynlegs gráðu. Dælukerfið er venjulega samsett úr sameindadælum, vélrænum dælum og dreifingardælum. Mismunandi dælusamsetningar geta náð mismunandi tómarúmgráðum og dæluhraða.
3. Klemmubúnað undirlags
Klemmubúnaðinn undirlag er annar mikilvægur þáttur í tómarúmhúðunarvélinni. Það er notað til að laga undirlagsefnið sem á að húða og stjórna stöðu þess og hreyfingarbraut. Klemmubúnaðinn undirlag er venjulega samsettur úr snúningsborði, lyftibúnaði og undirlagklemmu. Mismunandi klemmur geta aðlagast hvarfefni af mismunandi stærðum og gerðum.
4. Hitunarkerfi
Hitunarkerfið er nauðsynlegur hluti í tómarúmhúðunarvélinni. Það getur hitað undirlagið og húðunarefnið til að stuðla að myndun lagsins og bæta gæði þess. Hitunarkerfið er venjulega útfært með viðnámsvír, rafsegulhitun, örvunarhitun og öðrum aðferðum.
5. Húðun
Húðunarheimildin er síðasti þátturinn í tómarúmhúðunarvélinni. Það er notað til að útvega efnið sem þarf að húða, venjulega þar með talið málma, keramik, sílikon og önnur efni. Húðunin getur lagt efnið á undirlagið með rafeindgeislanum, uppgufun, sputtering og öðrum aðferðum til að mynda nauðsynlega húðun.
Yfirlit: Tómarúmhúðunarvélin er tæki sem notað er til að framleiða hátt - gæðahúðun, þar sem tómarúmhólfið, dælukerfi, undirlag klemmubúnaður, hitakerfi og húðunaruppspretta eru helstu íhlutir þess. Þessir þættir vinna saman að því að klára húðunarferlið.
