Tómarúmhúðunarbúnaðurlendir oft í óvæntum aðstæðum meðan á notkun stendur, eins og vatnsleysi, rafmagnsleysi og loftleki. Þegar þeir standa frammi fyrir þessum aðstæðum geta rekstraraðilar verið ráðalausir og ekki vissir um hvernig þeir eigi að takast á við þær. Hér að neðan mun Puyuan Vacuum veita nákvæma neyðaráætlun fyrir rekstur tómarúmhúðunarbúnaðar:
1. PVD húðunarbúnaður þarfnast hreinsunar eftir notkunartímabil.
Eftir notkunartímabil, venjulega 50 til 70 ofnalotur, þarf PVD húðunarbúnaðurinn að þrífa til að fjarlægja ryk úr ofninum. Síðan skaltu keyra ofninn einu sinni án álags. Aðferðin felur í sér að ofninn er fyrst tæmdur í lofttæmisstig sem er hærra en 10⁻² Pa, síðan hitað við hitastig sem er almennt 20 gráður hærra en venjulegt rekstrarhitastig. Haltu þessu hitastigi á hæsta mögulega stigi í að minnsta kosti eina klukkustund og láttu það síðan kólna náttúrulega. Þetta ferli heldur innra rými tómarúmhúðunarbúnaðarins hreinu.
2. Skipt um gashylki
Þegar skipta þarf um gashylki sem notaður er í lofttæmihúðunarbúnaðinum skal fjarlægja þrýstistillingarventilinn og setja nýjan hylki í staðinn. Gakktu úr skugga um að enginn leki sé við uppsetningu. Eftir að strokka hefur verið skipt út, áður en vinnustykkið er hitað, ætti að hreinsa ofninn meðan á tæmingarferlinu stendur til að fjarlægja allt loft sem er fast í leiðslunni meðan á hólknum stendur og halda hreinsunarleiðslunni hreinu.
3. Berið lítið magn af smurolíu á hluta sem snúast.
Berið lítið magn af lofttæmisdæluolíu á snúningshlutana til smurningar. Gakktu úr skugga um að lofttæmisdælan sé hrein, laus við járn, sand og ryk. Tryggja gott samband í staðsetningarkerfinu. Tómarúmdælan ætti að snúast auðveldlega án ójöfnunar eða alvarlegrar stíflu.
4. Skyndilegur loftleki fannst við venjulega notkun
Ef skyndilegur loftleki greinist við venjulega notkun og hægt er að staðsetja lekapunktinn strax, verður að þétta hann með lofttæmi. Frekari viðgerðir geta farið fram eftir að núverandi vinnu lýkur. Ef ekki er hægt að finna lekann skal stöðva vinnu strax og gera viðgerðir.
5. Vatns- og rafmagnsleysi við háan hita
Tómarúmsbúnaður er viðkvæmastur fyrir vatns- og rafmagnsleysi við háan hita. Þess vegna ættu notendur helst að setja upp varavatnsgeymi eða tengja hann við kranavatnsveitu meðan á uppsetningu búnaðar stendur. Ef búnaðurinn verður fyrir vatns- eða rafmagnsleysi við háan hita ætti að loka öllum dælum og lokum. Rekstraraðilar ættu strax að tengja varavatnsveitu eða kranavatn við vatn-kæla búnaðinn. Ef ekki er hægt að koma rafmagni aftur á fljótt, ætti að opna handvirka uppblástursventilinn á uppblásturs-/deyfingarkerfi til að blása upp búnaðinn til verndar, með uppblástursþrýstingi sem er um það bil -0,02 MPa. Snúðu síðan öllum hnöppum á stjórnskápnum í „slökkt“ stöðu. Samtímis skaltu setja rakt handklæði á rafskautsúttaksviðmótið og skipta um það reglulega til að koma í veg fyrir ofhitnun á rafskautsviðmótinu og skemmdum á þéttihringnum.
Sem verkfræðingur sem vinnur með tómarúmhúðunarbúnaði er nauðsynlegt að ná tökum á neyðarviðbragðsáætlunum. Óvæntar aðstæður geta komið upp meðan á rekstri stendur og tímabært inngrip er mikilvægt til að koma í veg fyrir óþarfa tap.
