Eins og er eru margar aðferðir til að fylgjast með þunnum filmum í lofttæmihúðunarvélum, aðallega þar á meðal: sjónræn vöktun, eftirlit með föstum (öfga) gildi, eftirlit með kristalsveiflu og tímavöktun. Þessi grein mun fyrst og fremst kynna þrjár aðferðir: sjónræn vöktun, eftirlit með föstum (öfgagildum) og kristalsveifluvöktun. Sjónræn vöktun, einnig þekkt sem bein vöktun, notar augun til að fylgjast með kvikmyndinni. Meðan á filmuvaxtarferlinu stendur valda truflunarfyrirbæri litabreytingum og við stjórnum filmuþykktinni út frá þessum litabreytingum. Þessi aðferð hefur ákveðna villu og er ekki mjög nákvæm, krefst reynslu.
Föst-gildi (mikið-gildi) vöktun: Þetta notar aðallega endurkastandi (sendandi) sjónvöktun. Vöktunaraðferð með mikilli-gildi: Þegar filmuþykktin eykst breytist endurspeglun hennar og flutningsgeta í samræmi við það. Þegar endurspeglun eða geislun nær öfgamarki er hægt að ákvarða ljósþykkt ND lagsins sem heilt margfeldi af einum-fjórðungi vöktunarbylgjulengdarinnar (λ). Hins vegar hefur öfgagildisaðferðin tiltölulega stóra villu vegna þess að endurspeglun eða flutningsgeta breytist mjög hægt nálægt öfgagildinu; það er, R/T breytist aðeins eftir verulega aukningu á filmuþykkt ND. Viðkvæmasta staðan er við einn-átta af bylgjulengdinni. Vöktunaraðferð með föstum-gildum: Þessi aðferð notar þá staðreynd að stöðvunarpunktur húðunar er ekki á einum-fjórðungi vöktunarbylgjulengdarinnar. Síðan reiknar tölvan út endurspeglun (eða geislun) heildarfilmuþykktar við bylgjulengd 1, sem er stöðvunarpunktur húðunar. Vöktun kristalsveiflu: Virka kristalsveiflan byggir á þeirri meginreglu að titringstíðni kvarskristalls er í öfugu hlutfalli við massa hans. Hins vegar er einn galli við kvarseftirlit að þegar filmuþykktin eykst að vissu marki er titringstíðni ekki alveg línulega tengd þykktinni vegna eiginleika kvarssins sjálfs. Í þessu tilviki verður að nota nýjan kvars oscillator.
Nokkrar vöktunaraðferðir hafa hver sína kosti og galla, en fyrir fjöl-laga húðun er sjónvöktun venjulega aðalaðferðin, bætt við kvarskristalsveiflu. Að auki, fyrir suma ferla sem krefjast gasinnspýtingar meðan á húðun stendur, þarf flæðimæla eða þrýstimæla, sem krefjast nákvæmra ventla og ljósrafmagnsskynjara til að stjórna. Tómarúmhúðunarvélar krefjast einnig snúningsstýringarkerfis, þar sem aðalskaft regnhlífarinnar er komið fyrir inni í legu og mótor knýr leguna til að snúa regnhlífinni. Snúningshraðanum er síðan stjórnað af PLC. Snúningur deiglunnar er knúinn áfram af mótor og notar ljósvirkjunartalningu, en hlífðarplatan snýst með pneumatic rofa. Til að flýta fyrir dæluhraðanum og ná ákveðnu lofttæmistigi þarf að kæla lofttæmishólfið, frysta loftið inni í -130 gráður á Celsíus og frysta og fjarlægja allar vatnsgufu. Rafstýringarhlutinn samþykkir aðallega PLC sjálfstýringu. Forhönnuðu forritið er fyrst sett inn í PLC og aðalrás örgjörvans er tengd við hvert óhlaða kerfi á stjórnborðinu. Þegar ýtt er á rofann á stjórnborðinu eru upplýsingarnar sendar til miðlæga örgjörvans og síðan greinir miðstýringarkerfið og gefur út leiðbeiningar til útibúarásanna um að framkvæma og ljúka aðgerðinni.
Tómarúmhúðunarvélar eru tæki sem samþætta margar greinar. Þau fela í sér fullkomnustu rafvélatækni, stýritækni, rafsjálfvirkni, upplýsingatæknitækni, kælitækni, samþætt örrásarkerfi, há-stýrikerfi fyrir háspennu, vélrænni tækni, vinnslutækni, sjónræna tækni, sjóntækni, loftstýringartækni, sjónrafræna skynjunartækni, -ljósmyndasamskiptatækni, þunnfilmu{2} tækni og fleira. Tómarúmhúðunarvélar geta talist fulltrúi nýrra atvinnugreina. Í dag eru tómarúmhúðunarvélar mikið notaðar, sérstaklega við framleiðslu á þunnum filmum. Hinar ýmsu þunnu filmur sem framleiddar eru eru notaðar í ýmis ljóskerfum og ljóstækjum, svo sem stafrænar myndavélar, stafrænar upptökuvélar, sjónaukar, skjávarpar, orkustýring, sjónsamskipti, skjátækni, víxlmælar, gervihnöttur og eldflaugar, hálfleiðara leysir, örrafvélakerfi, upplýsingaiðnaður, leysiframleiðsla, bílaiðnaður, gleriðnaður, gleriðnaður, glersíur, skrautmunir, mynt, gleraugnalinsur og fleira. Húðunarvélar eru orðnar nátengdar inn í mannlífið.
