Tómarúm húðunarvélvísar aðallega til tegundar húðunar sem þarf að framkvæma undir tiltölulega háu lofttæmi, þar á meðal margar gerðir, þar á meðal lofttæmijóna uppgufun, segulmagnaðir sputtering, MBE sameinda geisla epitaxy, PLD leysir sputtering útfellingu, o.fl. Meginhugmyndin er að skipta því í tvær gerðir: uppgufun og sputtering.
Halli litarferlið notar almennt segulómsputtering húðunarbúnað. Eins og er, nota hallalitahylki margra farsímagerða eins og Huawei og Lenovo PVD lofttæmihúðunarferlið.
Magnetron sputtering er tegund líkamlegrar gufuútfellingar (Physical Vapour Deposition, PVD). Almenna sputtering aðferðin er hægt að nota til að undirbúa málma, hálfleiðara, einangrunarefni og önnur efni, og hefur kosti þess að einfalda búnað, auðveld stjórn, stórt húðunarsvæði og sterk viðloðun.
Segulómsputterunaraðferðin sem þróuð var á áttunda áratugnum hefur náð miklum hraða, lágum hita og litlum skemmdum. Vegna þess að háhraða sputtering er framkvæmd við lágan þrýsting, verður að auka gasjónunarhraðann í raun. Magnetron sputtering kynnir segulsviði á yfirborð bakskauts marksins og notar segulsviðið til að takmarka hlaðnar agnir til að auka plasmaþéttleikann til að auka sputtering hraða.
Magnetron sputtering tómarúmhúðunarvél er algengasti búnaðurinn til að húða núverandi vörur við lofttæmi. Fullkomin magnetron sputtering tómarúmhúðunarvél er samsett úr mörgum hlutum kerfisins. Hvert kerfi getur framkvæmt mismunandi aðgerðir til að ná endanlegri-hágæða húðun. Íhlutir magnetron sputtering húðunar eru tómarúmshólf, vélræn dæla, lofttæmisprófunarkerfi, olíudreifingardæla, lofttæmikerfi, þéttingardæla, stjórnkerfi fyrir filmumyndun osfrv.
Meginhluti magnetron sputtering tómarúmhúðunarvélarinnar er tómarúmshólfið. Stærð lofttæmishólfsins er ákvörðuð af unnum vörum. Hægt er að aðlaga stærð magnetron sputtering húðarinnar. Hólfið er almennt úr ryðfríu stáli og þarf að vera sterkt, endingargott og ryðlaust-. Magnetron sputtering húðun lofttæmihólfið hefur marga tengiloka til að tengja ýmsar hjálpardælur.
Magnetron sputtering húðunarfilmumyndunarstýringarkerfið getur tekið upp mismunandi aðferðir, svo sem fastan málunartíma, sjónræna skoðun, öfgafullt eftirlit og kristal titringsvöktun. Tómarúmhúðunarvélar og lofttæmihúðunarvélarhúðunaraðferðir eru einnig skipt í ýmsa ferla. Meðal þeirra sem almennt eru notaðir eru jónauppgufunarhúð og segulómsputterhúð. Kvikmyndalagið sem er húðað með segulómsputtering hefur sterka viðloðun og mikla hreinleika og getur sprautað margs konar efni með mismunandi samsetningu á sama tíma.
