1. Útvarpsbylgjur (RF) - orkugjafinn fyrir PECVD
Einfaldlega sagt, útvarpsbylgjur (RF) er drifkraftur PECVD; það ákvarðar hvort hægt sé að mynda plasma, hversu sterk myndunin er og hversu mikil útfellingin er.
2. Glóðútskrift-„tjáning“ plasma
Glóðhleðsla er sýnilegt ljós fyrirbæri sem á sér stað náttúrulega eftir að plasma er spennt.
Þegar gas er jónað í plasma með útvarpsbylgju rafsviði, munu rafeindirnar inni hoppa stöðugt á milli hás og lágs orkustigs. Þetta ferli losar ljóseindir. Þegar mikill fjöldi ljóseinda sameinast mynda þær ljósið sem við sjáum í gegnum athugunargluggann, sem kallast ljómi.
Blóminn er hvorki skraut né aukaafurð; það endurspeglar beint hið sanna ástand blóðvökvans.
Mismunandi lofttegundir, breytur og aðstæður í hólfinu munu leiða til breytinga á lit, birtustigi og einsleitni plasmaljómans. Stöðugur ljómi gefur til kynna heilbrigt blóðvökva en flöktandi eða óeðlilegur ljómi gefur til kynna vandamál með búnaðinn eða ferlið.
Í stuttu máli er ljómaútskrift tjáning og tungumál plasma, sem verkfræðingar nota til að dæma hvort búnaðurinn sé heilbrigt og ferlið stöðugt.
Ljómi getur verið í mismunandi litum.
Litur ljóma er mismunandi eftir gastegundum.
Neon (Ne): Gefur frá sér klassískt rautt-appelsínugult ljós (neonljós)
Argon (Ar): gefur frá sér bláleitt-fjólublátt ljós.
Köfnunarefni (N2): gefur frá sér bleikleitt-fjólublátt ljós.
Súrefni (O2): gefur frá sér fölgult eða hvítt ljós.
Natríumgufa (Na): gefur frá sér mjög skærgult ljós.
2. Tengsl milli útvarpstíðni og ljómaútskriftar
Útvarpstíðni og ljómaútskrift eru ekki tveir sjálfstæðir hlutir, heldur hafa orsakasamband, sambýli og vöktunarsamband.
Útvarpsbylgjur veita orku og er orsök plasmamyndunar.
Glóðafhleðsla fylgir útliti plasma og er ytri birtingarmynd plasma.
Án útvarpsbylgna er ekkert plasma og því enginn ljómi.
Skortur á stöðugum og einsleitum ljóma gefur til kynna lélega útvarpsbylgjuorkusendingu, ójafna rafsviðsdreifingu og óeðlilegt ástand hólfa.
3. Einfaldasta samantektin
Útvarpsbylgjur (RF) er orkukjarni PECVD, sem ber ábyrgð á að mynda og stjórna plasma.
Glóðafhleðsla er ástandstjáning plasma og ber ábyrgð á því að endurspegla hvort ferlið sé stöðugt.
Ef útvarpstíðnin er stöðug verður ljómaútskriftin stöðug.
Stöðug ljómaútskrift tryggir stöðug kvikmyndagæði.
