Innsiglunarárangurinn er afgerandi þáttur í hönnun tómarúmhúðunarbúnaðar, þar sem gæði hans hafa bein áhrif á hvort hægt sé að ná fram lofttæmisstigi sem krafist er fyrir húðun meðan á síðari ryksuguferlinu stendur. Ef þessi krafa er ekki uppfyllt mun það hafa bein áhrif á myndun og gæði filmunnar. Til að tryggja góða þéttingu á lofttæmihúðunarbúnaði eða -kerfum er langt frá því að vera nóg að einfaldlega staðsetja og loka fyrir leka eftir uppsetningu. Nauðsynlegt er að greina tómarúmsleka á öllum stigum hönnunar, framleiðslu, gangsetningar og notkunar á lofttæmihúðunarbúnaðinum eða -kerfinu.
Hönnunarsjónarmið fyrirVacuum Coating Machine
1. Ákvarðu heildarhámarks leyfilegan lekahraða tómarúmsbúnaðarins út frá kröfum ferlisins og ákvarðaðu síðan hámarks leyfilegan lekahraða hvers íhluta byggt á þessum heildarlekahraða.
2. Byggt á hámarks leyfilegum lekahraða og öðrum vísbendingum um búnaðinn, ákvarða fyrirfram hvaða lekaleitaraðferðir á að nota á hönnunarstiginu og notaðu þetta sem eina af grunnreglunum um gangsetningu og samþykki.
3. Ákvarða þéttingar- og tengiaðferðir og heildar vinnslu nákvæmni búnaðarins á grundvelli leyfilegrar lekahraðavísa búnaðarins eða íhlutanna, svo og hvaða kraftmikla þéttingargerð getur uppfyllt kröfurnar. Til dæmis hvort nota eigi málmþéttingar eða gúmmíþéttingar fyrir flansa.
4. Þegar burðarstyrkur ílátsins er hannaður skal íhuga þrýstingsþol og burðarstyrk sem krafist er fyrir prófaða íhlutinn ef þrýstingslekaleitaraðferð er notuð.
5. Þegar þú velur byggingarefni fyrir íhluti skaltu íhuga hvort efni sem gætu verið tærð og skemmst af vinnslumiðlinum og lekaprófunargasi séu notuð.
6. Við burðarvirkishönnun ætti að vera nauðsynleg varaviðmót fyrir lekaleitartæki á ílátinu eða kerfinu til notkunar við samsetningu og gangsetningu búnaðar. Sérstaklega fyrir stór og flókin lagnakerfi er oft þörf á aðferðir til að greina sundur leka; Þess vegna ætti að setja upp hluta af einangrunarlokum á leiðsluna og viðmót lekaleitartækja ætti að vera frátekið á hverjum einangrunarhluta.
7. Þegar byggingarhlutar eru hannaðir skal forðast hönnunarkerfi sem geta truflað lekaleit. Til dæmis ætti ekki að nota blindgöt fyrir skrúfugöt í lofttæmishólfinu, því eftir að skrúfan er sett upp getur gasið í rýminu sem eftir er inni í skrúfuholinu aðeins sloppið í gegnum þráðabilið og myndað falskan leka. Þetta lengir rýmingartíma kerfisins og truflar eðlilega lekaleit. Sjá skýringarmynd fyrir mannvirki sem ættu ekki að birtast í lofttæmislekaleit.
8. Að sama skapi eru samfelldar tvíhliða -hliðar suðu og fjöl-laga þéttihringabyggingar ekki leyfðar í burðarvirkjahönnuninni, þar sem þær munu skapa "sníkjumagn" í miðjunni, sem veldur því að gasið innan úr henni lekur. Ennfremur, þegar bæði innri og ytri suðuna eða þéttihringurinn lekur samtímis, gerir „sníkjumagnið“ viðbragðstímann fyrir gas sem lekur til að fara í gegnum tvöfalda-laga suðuna of langan, sem gerir venjulega lekagreiningu ómögulega.
9. Við hönnun á soðnum mannvirkjum skal lágmarka fjölda suðu sem ekki er hægt að greina fyrir leka eftir lokasamsetningu.
Ofangreind atriði eru varúðarráðstafanir fyrir lekaleit í lofttæmihúðunarbúnaði. Gæði þéttiefnisins ákvarðar beint hvort hægt sé að samþykkja búnaðinn með góðum árangri og hvort gæði hans standist staðla.
