Í fyrsta lagi verðum við að skýra að mengun í lofttæmihólfinu felur í meginatriðum í sér ýmis óhreinindi (vatnsgufa, kolvetni, ryk, fita o.s.frv.) sem loðast við veggi hólfsins eða yfirborð innri íhluta og mynda gas og gufugjafa sem trufla jafnvægi lofttæmisumhverfisins. Þessi aðskotaefni koma frá fjölmörgum uppsprettum, þar á meðal leifar af skurðarvökva og smurefni frá vinnslu vinnustykkis, handsviti meðan á vinnslu stendur, ryk í lofti og jafnvel snefilóhreinindi sem koma inn með lofttæmisdælunni eða rokgjörn efni frá markefninu eða undirlaginu. Burtséð frá tegund mengunar er kjarnabatastefnan "nákvæmlega að fjarlægja óhreinindi án þess að skemma hólfefnið og endurheimta lofttæmisumhverfið." Mismunandi gerðir af mengun krefjast mismunandi endurheimtaraðferða.
Aðferð 1: Upphitun til að „gufa upp“ óhreinindi - Hreinsunaraðferð fyrir lofttæmihitun Þetta er grunn- og algengasta endurreisnaraðferðin. Meginreglan er mjög einföld: rétt eins og að þurrka föt með vatnsbletti, veldur upphitun rokgjörn óhreinindi (eins og vatnsgufu og mild kolvetni) á yfirborði holrúmsins að gufa upp og síðan eru þau fjarlægð með lofttæmdælu og þannig næst hreinsun.
Aðferð 2: Útfjólublátt „niðurbrot“ mengunarefna - Hreinsunaraðferð með útfjólubláum geislun. Ef holrúmsmengunin er aðallega samsett úr kolvetni (eins og leifar af smurolíu og lífrænum mengunarefnum) verður hreinsunaraðferðin fyrir útfjólubláa geislun skilvirkari. Þar að auki er það ekki-snerting og ekki-skemmandi í öllu ferlinu, sem gerir það sérstaklega hentugur fyrir aðstæður með mjög miklar efniskröfur, eins og nákvæmnisljóshol og hálfleiðara lofttæmishol.
Aðferð 3: „Bombardment“ afmengun - Hreinsunaraðferð við losun. Fyrir mikið lofttæmi og ofur-hátt lofttæmishol (svo sem lofttæmihúðunarbúnað og hálfleiðarajónaígræðsluhol) er mengun oft þrjóskari, sérstaklega kolefni og kolvetni á yfirborði ryðfríu stálhola, sem erfitt er að fjarlægja með venjulegum aðferðum. Í þessu tilviki er þörf á losunarhreinsunaraðferð, sem er einnig kjarnaaðferðin fyrir djúpa endurheimt tómarúmshola.
Aðferð 4: Gas "skola" burt óhreinindi - Gasskolunaraðferð Ef holrúmið er aðeins mengað, eða ef þörf er á hraðri endurheimt og styttingu rýmingartíma, er gasskolun besti kosturinn. Það skiptist í köfnunarefnisskolun og hvarfgasskolun, sem henta fyrir mismunandi aðstæður.
Leggja skal áherslu á vernd eftir-mengun: Eftir endurreisn skal halda holrúminu frá olíu og ryki. Gera skal verndarráðstafanir meðan á notkun stendur og viðhalda skal lofttæmisdælunni reglulega til að draga úr líkum á endurmengun. Þetta er sérstaklega mikilvægt á sviðum með mjög miklar hreinlætiskröfur, eins og hálfleiðara og geimferða, þar sem hreinleiki holrúms ákvarðar beinlínis líftíma vöru og frammistöðu. Hreinleiki tómarúmsholsins er „líflína“ háþróaðra -tæmisferla. Reyndar, með því að ná góðum tökum á þessum fjórum kjarna endurreisnaraðferðum og sveigjanlega velja viðeigandi aðferð byggt á mengunarstigi og holaefninu, er auðvelt að leysa mengunarvandamál í holrúmi, sem tryggir stöðugan rekstur tómarúmskerfisins. Með þróun nákvæmni framleiðsluiðnaðarins er ryksugatækni einnig stöðugt að uppfæra, frá hefðbundinni hitahreinsun til umhverfisvænnar og skilvirkrar losunar og plasmahreinsunar. Fleiri og fleiri aðferðir standa vörð um hreinleika tómarúmshola og vernda háa-framleiðslu.
Velkomið að heimsækja Tiktok okkarhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine fyrir fleiri vélamyndbönd, takk fyrir.
