Continuous Magnetron Sputtering Coating Production Line er mjög sérhæft framleiðslukerfi, sem er aðallega notað til að setja eitt eða fleiri lög af mjög þunnum hagnýtum filmum á yfirborð undirlags (eins og gler, plast, málm, keramik, hálfleiðara oblátur osfrv.).
Kjarni þess er að gufa upp eða jóna húðunarefnið með ýmsum eðlisfræðilegum aðferðum í mjög lofttæmu umhverfi og síðan þétta það í filmu á yfirborði undirlagsins.
Umsóknir:
Tómarúmhúðun kopar, silfurs og annarra leiðandi efna á yfirborði rafhlutakeramik og hringrásarkeramik.
Það er einnig hentugur fyrir lofttæmisútfellingu ýmissa málmfilmalaga á yfirborði annarrar plötu-eins og vinnustykki (gler, akrýlplata osfrv.);
Helstu eiginleikar:
Segulsvið takmarkar plasma
Þetta er kjarnaeiginleikinn við segulómsputtering. Með því að beita sterku segulsviði af tiltekinni lögun (venjulega hring eða kappakstursbraut) nálægt markyfirborðinu, eru rafeindirnar lokaðar nálægt markyfirborðinu til að gera spíralhreyfingu, sem eykur til muna líkur á árekstri og jónun rafeinda við vinnugas (venjulega argon) atóm.
Hátt jónunarhraði og hátt útfellingarhraði
Innilokun segulsviðs eykur plasmaþéttleika og jónunarhraða verulega, sem gerir sputterferlið skilvirkara.
Þetta þýðir að við tiltölulega lágan gasþrýsting og lágt sputtering spennu/afl, er hægt að ná mun hærri sputtering og útfellingarhraða en hefðbundin DC sputtering.
Lágt hitastig ferli
Þar sem mest af orkan er notuð til að jóna gasið og sputter mark atómin, er tiltölulega lítill varmi fluttur til undirlagsins.
Góð kvikmyndagæði
Góð þéttleiki, sterk viðloðun, hár hreinleiki og góð einsleitni.
Mikið úrval af aðlögunarhæfni efnis
Gott ferli stjórnunarhæfni
Framleiðslulínan fyrir segulómsputtering húðun er orðin ein af almennum tækni til að útbúa hagnýtar þunnar filmur (svo sem sjónfilmur, leiðandi filmur, slitþolnar harðar filmur, skreytingarfilmar, and-tæringarfilmur, segulfilmur, hálfleiðarafilmur osfrv.) í nútíma iðnaði vegna kjarnaeiginleika þess, frábæra niðurbrotsfilmu og kostum eins og lágt hitastig, frábært niðurbrot, hágæða viðloðun), breiður efnisaðlögunarhæfni, góð einsleitni og stýranleiki. Það hefur mjög víðtæka notkun í öreindatækni, flatskjám, sólarsellum, tólahúðun, bílahlutum, umbúðum, skreytingum, sjóntækjum og öðrum sviðum.
maq per Qat: Puyuan samfelld segulóms sputtering húðunar framleiðslulína, Kína Puyuan samfelld segulron sputtering húðun framleiðslulína framleiðendur, birgja, verksmiðju
