Verkflæði sjónhúðunarvélar inniheldur venjulega eftirfarandi aðalþrep: formeðferð, húðun, eftirlit með kvikmyndum og aðlögun, kælingu og fjarlægingu. Sérstaklega ferlið getur verið breytilegt eftir tegund búnaðar (svo sem uppgufunarhúðunarvél, sputtering húðunarvél osfrv.) Og húðunarferli (svo sem stakt - lagfilmu, Multi - lag filmu osfrv.), En almennt er ferlið við sjónhúð sem hér segir:
1. undirbúningsstig
Hreinsun og undirbúningur sjónhluta:
Áður en húðun er lagað þarf að hreinsa sjónhluta (svo sem linsur, síur, sjóngler osfrv.) Verklega. Þetta skref er grunnurinn að því að tryggja gæði lagsins. Algengar hreinsunaraðferðir fela í sér ultrasonic hreinsun, sýruhreinsun, gufuhreinsun osfrv.
Hreinsaðir sjónhlutir eru venjulega settir á snúningstækið eða klemmukerfi húðunarvélarinnar til að tryggja að þeir geti verið stöðugir meðan á húðunarferlinu stendur.
Formeðferð tómarúmhólfsins:
Áður en sjónhlutirnir eru settir í húðunarvélina þarf að rýma húðunarhólfið að ákveðnu tómarúmprófi. Tómarúmumhverfið getur í raun fjarlægt óhreinindi, súrefni og vatnsgufu í loftinu, komið í veg fyrir að þau bregðist við húðunarefninu og tryggt hreinleika og gæði myndarinnar.
Venjulega þarf húðunarhólfið að ná háu tómarúmi (10⁻⁵ til 10⁻⁶ PA) eða miðlungs tómarúmi (10⁻ til 10⁻⁴ pa).
2. Húðunarferli
Byrjaðu að húða uppsprettu:
Húðunarheimildin samþykkir venjulega uppgufun eða sputtering uppsprettu. Mismunandi húðunarheimildir verða valdar í samræmi við mismunandi húðunarferli og efni.
Uppgufunaruppspretta: Notaðu upphitunarbúnað (svo sem rafeindgeisla uppgufunar eða viðnám upphitun uppgufunar) til að hita húðunarefnið að uppgufunarástandi, þannig að sameindir þess eða atóm gufa upp og setja á yfirborð sjónþáttarins í lofttæmi.
Sputtering uppspretta: Með því að beita háspennu til að láta markefnið rekast á jónir, atóm eða sameindir markefnisins eru sputteraðar út og þessi atóm eða sameindir eru settar á yfirborð sjónþáttarins til að mynda þunnt filmu.
Þunn filmuefni útfelling:
Í lofttæmisumhverfi gufar húðunarefnið upp eða sputtar frá uppruna (svo sem uppgufunaruppsprettu eða markefni) og setur smám saman á yfirborð sjónþáttarins.
Það þarf að stjórna útfellingarhraða og filmuþykkt nákvæmlega til að tryggja að kvikmyndalagið sé einsleitt, stöðugt og uppfylli hönnunarkröfur. Færibreytur meðan á útfellingu stendur (svo sem straumur, gasflæði, hitastig osfrv.) Mun hafa bein áhrif á gæði myndarinnar.
Þunnt filmueftirlit og þykkt stjórnun:
Meðan á húðunarferlinu stendur er venjulega fylgst með þykkt og gæðum myndarinnar í rauntíma. Algengt er að nota vöktunartæki eru skynjarar eins og ** kvars kristal örjafnvægi (QCM) **, sem getur greint nákvæmlega útfellingarhraða og þykkt myndarinnar.
Byggt á þessum eftirlitsgögnum getur kerfið sjálfkrafa stillt breytur eins og kraft húðargjafans, gasflæði eða snúningshraða íhlutans til að viðhalda samræmi og einsleitni kvikmyndalagsins.
Fjöllaga kvikmynd (ef þörf krefur):
Fyrir sjónhluta sem krefjast marghliða kvikmyndagerðar er húðunarferlið venjulega framkvæmt lag eftir lagi. Eftir að hvert lag af filmu er sett mun kerfið framkvæma endurtekna uppgötvun kvikmyndaþykktar og aðlögun til að tryggja að gæði hvers lags uppfylli hönnunarkröfur.
Þetta ferli krefst nákvæmrar stjórnunar á þykkt og efnisgerð hvers lags til að tryggja að hvert lag geti virkað innan tiltekins bylgjulengdarsviðs, svo sem endurspeglun, sendingu eða truflun.
3.. Kæling og fjarlæging
Kæling:
Eftir húðun þarf að kæla sjónhluta og húðunarvél. Þar sem búnaðurinn og íhlutirnir geta orðið heitir meðan á húðunarferlinu stendur þarf að kæla hann niður í stofuhita í gegnum kælikerfi (svo sem kælivatn eða loftflæði) til að koma í veg fyrir hitauppstreymi.
Í sumum háum - hitastigsferlum verndar kæling ekki aðeins sjónhluta, heldur gerir myndin einnig kleift að ná sem bestum viðloðun og stöðugleika.
Fjarlægja sjónhluta:
Eftir kælingu er hægt að fjarlægja sjónhluta úr húðunarvélinni.
Fyrir fjarlægingu þarf að athuga húðunaráhrifin, þar með talið einsleitni, þykkt, viðloðun osfrv. Í kvikmyndalaginu til að tryggja að húðunargæðin uppfylli kröfurnar.
4. Post - meðferð (valfrjálst)
Herðingu kvikmynda:
Stundum þarf að herða myndina eftir húð til að bæta rispuþol og endingu myndarinnar. Þetta er venjulega gert með hitameðferð eða útfjólubláum geislun.
Hreinsun kvikmynda:
Til að fjarlægja mengunarefni, fitu eða önnur óhreinindi á yfirborði myndarinnar getur verið þörf á smá hreinsun, svo sem þvott, ultrasonic meðferð osfrv.
5. Gæðaskoðun og prófun
Optísk frammistöðupróf: Eftir húðun er röð árangursprófa framkvæmd á sjónhlutanum, þar með talið umbreytingu, endurspeglun, einsleitni í kvikmyndum osfrv., Til að tryggja að þær uppfylli tæknilegar kröfur.
Viðloðunarpróf: Athugaðu hvort viðloðunin milli myndarinnar og undirlagsins er þétt í gegnum borðipróf eða rispupróf.
Stöðugleikapróf umhverfisins: Stundum eru stöðugleikapróf við umhverfisaðstæður eins og hitastig, rakastig og útfjólubláa geisla til að tryggja áreiðanleika laglagsins í raunverulegum forritum.
