Magnetron sputtering búnaður gegnir lykilhlutverki á mörgum sviðum eins og yfirborðsmeðferð og undirbúningi filmu. Daglegt viðhald er mikilvægt til að tryggja stöðugan rekstur búnaðarins, auka þjónustulíf sitt og tryggja gæði sputtered kvikmyndarinnar. Eftirfarandi mun útfæra lykilatriðin við daglegt viðhald magnetron sputtering búnaðar.
Viðhald tómarúmkerfis
1. viðhald tómarúmsdælu: Tómarúmdæla er kjarnaþáttur tómarúmkerfisins í segulsviðbúnaði. Athugaðu olíustig lofttæmisdælu reglulega til að tryggja að olíustigið sé innan venjulegs sviðs. Eftir langa - notkun mun árangur tómarúmdæluolíunnar versna vegna aðsogs óhreininda og raka. Almennt þarf að skipta um tómarúmdæluolíu á hvert ákveðið tímabil (til dæmis 2000 klukkustundir). Á sama tíma skaltu fylgjast með því að athuga þéttleika tómarúmdælubeltisins. Of laust belti mun valda því að tómarúmdæluhraði er óstöðugur og hefur áhrif á útblásturs skilvirkni; Of þétt getur flýtt fyrir slit á belti. Ef beltið sýnir merki um slit eða öldrun ætti að skipta um það í tíma.
2. Hreinsun tómarúm pípu: Tómarúm pípa er rásin sem tengir tómarúmdælu og sputterhólfið, sem er auðvelt að taka upp ryk, óhreinindi og agnir sem myndast við sputteringferlið. Notaðu reglulega sérstakt tómarúmpípuhreinsitæki til að hreinsa innan í pípunni til að fjarlægja meðfylgjandi óhreinindi. Hjá hlutum sem erfitt er að þrífa er hægt að nota gashreinsun, en tryggð verður að hreinsa hreinsunargasið. Að auki, athugaðu þéttleika pípunnar til að sjá hvort það sé einhver leki. Lítill leki getur valdið því að tómarúmprófið ná ekki að ná kjörinu og hefur áhrif á sputteráhrifin. Hægt er að nota helíum massagreiningarleka lekaskynjara til að greina leka í pípunni og hægt er að laga leka í tíma.
3. Kvörðun tómarúmmælinga: Tómarúmmælin er notuð til að mæla tómarúmgráðu tómarúmkerfisins og mælingarnákvæmni þess er í beinu samhengi við dóm rekstraraðila um rekstrarstöðu búnaðarins. Kvarða tómarúmmælin reglulega og almennt er mælt með því að kvarða það einu sinni á sex mánaða fresti eða á ári. Kvörðunarferlið verður að framkvæma í samræmi við rekstrarhandbók sem framleiðandi búnaðarins veitir og venjulega verður að nota staðal kvörðunarbúnað til að tryggja að tómarúmgögnin mæld með lofttæmismælinum séu nákvæm og áreiðanleg.
Sputtering markviðhald
1. Eftir hverja notkun búnaðarins ætti að hreinsa markmiðið í tíma. Fyrir málmmarkmið er hægt að nota sérstakan miðahreinsibursta til að bursta varlega yfirborðið; Fyrir nokkur viðkvæmari markmið, svo sem keramikmarkmið, er krafist mildari hreinsunaraðferðar, svo sem varlega að þurrka með hreinum mjúkum klút sem dýft er í viðeigandi magni af sérstöku hreinsunarefni. Forðastu að nota skörp verkfæri til að klóra yfirborð markmiðsins til að forðast að skemma markmiðið.
2.. Skoðun miða uppsetningar: Athugaðu reglulega uppsetningu markmiðsins til að tryggja að markmiðið sé sett upp. Markmiðinu verður sprengjuárás með háu - hraðjónum meðan á sputterunarferlinu stendur. Ef það er ekki sett upp getur það valdið því að markmiðið hristir eða jafnvel fallið af, sem mun ekki aðeins hafa áhrif á sputteringáhrifin, heldur einnig skemmir búnaðinn. Athugaðu hvort tengingin milli markmiðsins og sputtering aflgjafa sé góð. Losun tengingarinnar getur valdið því að sputterunarferlið er óstöðugt og valdið óeðlilegum fyrirbærum eins og neisti. Ef tengingin reynist vera laus ætti að herða tengibolta í tíma.
3. Markmiðsþjónusta Lífseftirlit: Mismunandi gerðir af markefni hafa sérstaka þjónustulíf sitt. Fylgstu vel með sputter tíma og sputtering áhrif markmiðsins. Þegar sputterhlutfall marksins lækkar verulega og gæði kvikmyndarinnar sveiflast, getur það þýtt að markmiðið er nálægt þjónustulífi þess. Skiptu um markmiðsefnið í tíma til að tryggja stöðugleika sputteringferlisins og samkvæmni gæði kvikmyndarinnar. Á sama tíma skaltu skrá notkunartíma og tengda breytur markefnisins til að skapa grundvöll fyrir síðari markmiðsefni og mat á árangri.
Viðhald rafkerfisins
1. Athugaðu reglulega hvort framleiðsluspenna og straumur aflgjafa er innan venjulegs sviðs. Þú getur notað faglega rafmagnsmælitæki til að greina aflgjafa til að athuga hvort framleiðsla breytur séu í samræmi við gildi búnaðarstillingarinnar. Ef framleiðsluspenna eða straumur reynist sveiflast óeðlilega, ætti að rannsaka orsökina tafarlaust. Það getur verið bilun í innri íhlutum aflgjafa eða vandamál með línutenginguna. Að auki, athugaðu hitaleiðni aflgjafa til að tryggja að aflgjafinn geti dreifst hita venjulega meðan á notkun stendur. Aflgjafinn mun skapa mikinn hita þegar hann vinnur í langan tíma. Ef hitaleiðni er léleg getur það valdið skemmdum á íhlutunum. Hreinsið rykið á aflgjafaofninum til að tryggja að kæliviftan gangi venjulega.
2. Viðhald rafrásar: Athugaðu hvort rafrásin inni í búnaðinum er að eldast eða skemmd. Eftir langa - notkun, getur rafrásin átt í vandræðum eins og öldrun einangrunarlagsins og skemmdum á vírnum, sem mun hafa í för með sér öryggisáhættu og hafa áhrif á venjulega notkun búnaðarins. Fyrir öldrun eða skemmdar hringrásir sem finnast ætti að skipta um þær í tíma. Á sama tíma skaltu ganga úr skugga um að línutengingin sé staðfast til að forðast lausleika sem veldur lélegri snertingu. Lausir tengingarpunktar geta myndað neistaflug meðan á rekstri búnaðarins stendur, skemmir búnaðaríhlutir eða jafnvel valdið eldi. Herðið skrúfurnar á línutengingarpunktum reglulega og athugaðu snertingu milli tappans og fals.
3. Viðhald stjórnkerfisins: Stjórnkerfi búnaðarins er ábyrgt fyrir eftirliti og aðlaga ýmsar breytur á sputteringferlinu. Taktu afrit af gögnum í stjórnkerfinu reglulega til að koma í veg fyrir tap á gögnum. Á sama tíma skaltu athuga hvort það séu uppfærslur fyrir stjórnunarkerfishugbúnaðinn. Tímabærar hugbúnaðaruppfærslur geta lagað þekktar varnarleysi og bætt stöðugleika og virkni kerfisins. Að auki skaltu hreinsa rekstrarviðmót stjórnkerfisins til að tryggja að hnapparnir og skjáskjáinn virki á réttan hátt og rekstraraðilinn geti innlagt breytur nákvæmlega og fengið upplýsingar um rekstur búnaðar.
Viðhald kælikerfa
1.. Kælivökva skoðun: Kælikerfið er notað til að draga úr hitanum sem myndast við búnaðinn meðan á notkun stendur. Kælivökvinn er lykilmiðill kælikerfisins. Athugaðu kælivökvastigið reglulega til að tryggja að stigið sé innan venjulegs sviðs. Kælivökvastigið lækkar vegna uppgufunar, leka o.s.frv. Á löngum - notkun. Of lágt stig hefur áhrif á kælingaráhrifin. Á sama tíma skaltu athuga gæði kælivökvans og fylgjast með því hvort kælivökvinn er litaður, gruggugur eða hefur lykt. Ef kælivökvi versnar ætti að skipta um það í tíma. Almennt er mælt með því að skipta um kælivökva á 1-2 ára fresti. Hægt er að ákvarða sérstaka endurnýjunarlotuna í samræmi við notkun búnaðarins og ráðleggingar framleiðandans.
2.. Viðhald kælisrörs: Athugaðu hvort kælispípan sé lokuð. Hægt er að loka innan í kælispípunni vegna uppsöfnunar stærðar, óhreininda osfrv., Sem hefur áhrif á eðlilegt flæði kælivökvans. Hægt er að hreinsa pípuna með efnafræðilegri hreinsun eða líkamlegri hreinsun. Efnahreinsun getur notað sérstakt hreinsiefni fyrir pípu, en gaum að styrk hreinsiefnisins og hreinsunartíma til að forðast tæringu á pípunni. Líkamleg hreinsun er hægt að framkvæma með háu - þrýstingi vatnsbyssu og aðrar aðferðir. Að auki, athugaðu þéttingu kælipípunnar til að koma í veg fyrir leka kælivökva. Ef leki er að finna í pípunni ætti að gera við skemmda pípuhlutana eða skipta um það í tíma.
3.. Skoðun á kælibúnaði: Athugaðu vatnsdælu, ofn og annan búnað í kælikerfinu. Gakktu úr skugga um að vatnsdælan gangi venjulega. Vefur vatnsdælu getur haft áhrif á dælugetuna vegna slits. Ef vatnsdælan reynist dæla óeðlilega, ætti að gera við vatnsdæluna eða skipta um það í tíma. Athugaðu hvort hitavaskurnar í ofninum séu lokaðir, hreinsaðu rykið og ruslið á hitanum í hita og tryggðu að ofninn geti í raun dreift hita. Á sama tíma skaltu athuga notkun kæliviftu til að tryggja að viftan geti veitt kæli loft fyrir ofninn venjulega.
Hreinsun búnaðar og umhverfisviðhald
1.. Hreinsun búnaðar: Hreinsið reglulega yfirborð magnetron sputtering búnaðarins til að fjarlægja ryk, olíu og önnur mengunarefni. Þú getur notað hreinan mjúkan klút til að dýfa í viðeigandi magn af þvottaefni og þurrka varlega yfirborð búnaðarins. Fyrir suma þrjóskur bletti geturðu notað sérstakan búnaðhreinsiefni, en vertu varkár til að forðast að þvottaefni komi inn í búnaðinn. Eftir að hafa hreinsað skaltu þurrka yfirborð búnaðarins með hreinum klút til að halda útliti búnaðarins hreinum.
2. Hreint starfsumhverfi: Vinnuumhverfi búnaðarins hefur einnig mikilvæg áhrif á afköst hans og líf. Haltu vinnuumhverfinu hreinu, hreinsaðu rykið á jörðu reglulega og forðastu að of mikið ryk komist inn í búnaðinn. Stjórna hitastigi og rakastig vinnuumhverfisins. Almennt er magnetron sputtering búnaður hentugur til að vinna í umhverfi með hitastigið 20-25 og hlutfallslegt rakastig 40%-60%. Hægt er að setja upp loftkælingu og rakagreiningarbúnað til að stilla umhverfishita og rakastig. Að auki, vertu viss um að vinnuumhverfið sé vel loftræst til að koma í veg fyrir uppsöfnun hita og útblásturslofts sem myndast við notkun búnaðarins.
Í stuttu máli, daglegt viðhald magnetron sputtering búnaðar nær yfir marga þætti eins og tómarúmskerfi, sputtering markmið, rafkerfi, kælikerfi, hreinsun búnaðar og umhverfisviðhald. Rekstraraðilar ættu stranglega að fylgja viðhaldshandbók búnaðarframleiðandans fyrir reglulega viðhald, uppgötva og leysa hugsanleg vandamál tafarlaust, svo að það sé stöðugt rekstur búnaðarins, bætir þjónustulífi búnaðarins og bætir þannig gæði og framleiðslu skilvirkni sputtered kvikmyndarinnar.
